球速体育医疗IC市场需求迅速增长,但对精度、可靠性和长期稳定性的要求极高,使得这一领域成为具有挑战性的市场。
2.与消费电子产品不同,医疗IC需要具备生物相容性、承受灭菌处理并在人体内长期稳定运行。
3.由于医疗IC的销量通常不足以实现规模经济,制造商需要在先进功能和成本限制之间取得平衡。
4.医疗IC的设计和制造需要采用专门的方法球速体育,包括容错架构、超低功耗运行功能和安全的无线.
很少有半导体应用会对精度、可靠性和长期稳定性有如此高的要求。与消费电子产品不同,消费电子产品出现故障可能只需重启或更换芯片,而心脏起搏器、胰岛素泵或神经刺激器等医疗设备一旦出现故障,可能会危及生命。这些设备的复杂性远不止于设计高效的电路球速体育。它们需要具有生物相容性,能够承受灭菌处理,并且要在人体内完美运行超过十年的时间。
要满足这些医疗设备的严格标准,在开发的每个阶段需要采用专门的工艺。在设计方面,医疗IC必须集成容错架构、超低功耗运行功能和安全的无线通信,同时还要确保符合严格的监管标准。在制造方面,需要专门的洁净室环境、工艺监控和延长的资格测试,以生产能够承受生物相容性限制、灭菌方法,并且在长期植入人体的情况下不会出现性能下降的芯片。IC制造、组装和封装的每个阶段都必须进行优化,以满足医疗应用特有的严格安全性、可靠性和长寿命要求。
可植入式医疗IC设计中最大的限制因素之一是电源效率。与消费电子产品不同,消费电子产品的电池可以进行充电或更换,而可植入式设备必须依靠单一电源持续运行10到20年。这就需要在接近阈值电压的条件下运行,即晶体管在略高于其开关阈值的电压下工作。虽然这可以降低功耗并延长电池寿命,但这些设备的制造商还必须应对日益增加的延迟变化和信号完整性挑战。
金材料是引线键合的首选材料,而铂铱合金则因其出色的抗生物降解性,被用于神经植入物和心脏起搏器中的高耐久性电极。钽(Ta)和氮化钛(TiN)扩散屏障可防止金属离子渗出,确保人体内互连结构的长期稳定性。在新兴的柔性生物电子领域,人们正在探索导电聚合物和碳纳米管互连技术,以制造出可拉伸的超薄电路,这些电路能够与软组织无缝集成。
确保容错性和长期可靠性是医疗IC制造的另一大挑战。这包括内置自检(BiST)机制、关键逻辑路径中的三模冗余系统(TMR),以及内存子系统中的纠错(ECC),以确保设备能够检测故障并从故障中恢复。在某些应用中,会采用抗辐射加固技术来防止由宇宙射线或电离辐射引起的软错误,特别是在深部脑刺激(DBS)植入物和长期神经调节设备中。
新思科技的Gupta表示:“医疗ASIC对安全性和可靠性有特定的要求,以确保其能够无故障运行超过10年。这些要求包括低功耗和低电压,以便减少充电频率;工作温度范围通常为0°C至50°C,具备EMI(电磁干扰)屏蔽功能;采用专用封装材料以实现小尺寸外形;具备安全性;支持BLE/NFC通信功能,以启用智能手机上的应用程序;拥有模拟前端和热保护功能。”
医疗IC的制造工艺也与传统半导体生产有很大不同。这些芯片是在专门的医疗半导体代工厂制造的,这些代工厂可以处理这些设备所需的小批量、高可靠性的生产。晶圆级工艺控制要严格得多,在制造的每个阶段都有严格的统计过程控制(SPC)和在线计量监控。与使用统计抽样进行批量测试的标准IC不同,医疗IC在封装前要经过100%的晶圆级和芯片级测试,以确保实现零缺陷制造。
法规合规性为医疗IC制造增加了另一层复杂性。消费级芯片可以进行快速设计、制造和迭代,但医疗IC在植入患者体内之前,必须通过严格的法规审批流程。ISO 13485(医疗器械质量管理体系)、FDA 21 CFR第820部分(医疗器械制造)和IEC 60601(医疗电气设备安全)等标准,对设计控制、验证测试和制造工艺文件记录都做出了规定。设计或制造工艺中的任何变化,即使是微小的材料替换,都可能需要重新认证,从而大大延长开发时间。
封装最终决定了设备在人体内的存活时间。与消费电子产品不同,消费电子产品的封装可以保护芯片免受环境压力,而医疗IC封装必须能经受持续接触生物体液、极端灭菌方法和植入机械应力。在智能手机或数据中心中运行良好的材料,在人体内很快会失效,因为在人体内,腐蚀、水分和生物相容性问题会大幅缩短芯片的使用寿命。
外部封装必须形成一道密封屏障,以阻挡体液,因为体液会渗透传统的半导体封装,并导致器件逐渐失效。在心脏起搏器、深部脑刺激器和人工耳蜗中,钛外壳是一种行之有效的解决方案,可在IC周围形成惰性、耐腐蚀的外壳。钛的天然氧化层使其具有生物相容性,可防止免疫系统的排斥反应,并确保长期的机械耐用性。在某些情况下,会使用玻璃与金属的密封技术形成一个完全不透水的外壳,以防止因水分渗入可能导致的电气短路或材料退化。
即使采用了这些成熟的材料,微型化也给封装带来了新的挑战。许多下一代医疗设备的尺寸在不断缩小,这就需要更紧凑、更灵活、更轻便的外壳。标准的密封封装技术虽然可靠性极高,但体积庞大,限制了设计的灵活性。因此,制造商们开始使用聚对二甲苯等薄膜涂层,该聚合物可提供超薄的生物惰性屏障,同时不会增加太多重量或体积。聚对二甲苯采用化学气相沉积(CVD)工艺进行沉积,使其能够在整个IC周围形成一个贴合的、无针孔的涂层。这对于柔性生物传感器和可植入监测设备来说尤其重要,因为在这些设备中,使用刚性金属外壳并不现实。
例如,高温高压灭菌会将设备置于121°C或更高的加压蒸汽环境中,这会导致粘合剂分层,或在焊点上产生机械应力。环氧乙烷(EtO)气体灭菌是一种较为温和的方法,但它可以渗透某些聚合物涂层,从而改变其长期稳定性。辐射灭菌(例如伽马射线)带来了一系列不同的挑战,因为它可以破坏聚合物涂层中的分子键,或在半导体电介质中引入俘获电荷,这反过来又会随着时间的推移导致电气特性发生漂移。
每种灭菌方法都要求特定的材料选择和工艺调整。采用高压灭菌的设备需要完全无机的密封封装球速体育,且聚合物含量尽可能少,而使用EtO气体灭菌的设备必须使用能够耐化学扩散的粘合剂和涂层。常用于一次性生物传感器中的经过伽马射线灭菌的IC,必须采用抗辐射材料以防止性能退化。由于灭菌是医疗设备制造中的一个强制性步骤球速体育,封装工程师必须在实际灭菌条件下对每种材料和工艺步骤进行认证,这又增加了一层复杂性,而这在典型的半导体封装中是不会遇到的球速体育。
Gupta表示:“医疗ASIC不需要像数据中心、汽车或客户端设备中的芯片那样具有非常高的性能。它主要是要在低功耗的情况下具备足够好的性能来完成工作。降低有源功率和漏电功率对于延长电池寿命都很重要,尤其是对于需要24小时活动监控的SoC而言。医疗芯片的一个优势是其工作温度范围大多在0°至50°C之间,不像消费类设备的工作温度范围为-40°C至125°C。”
除了传统的植入物之外,下一代医疗IC封装正在探索可生物吸收材料,即在功能完成后能在体内无害溶解的组件。这些仍处于实验阶段的设备使用基于镁的电路、二氧化硅封装以及会随时间降解的生物相容性聚合物基板。这消除了二次手术移除临时植入物(如术后监测设备或药物输送植入物)的需要。这里的挑战在于平衡可控降解过程与功能稳定性,确保IC在失效之前在规定的时间内可靠运行。
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